CVD洗腔流程PPT

准备工作在进行CVD洗腔之前，需要先做好以下准备工作：穿戴好个人防护装备包括防护服、手套、口罩等准备好洗腔所需的设备和材料包括清洗剂、清洗刷、棉签等确认...

准备工作在进行CVD洗腔之前，需要先做好以下准备工作：穿戴好个人防护装备包括防护服、手套、口罩等准备好洗腔所需的设备和材料包括清洗剂、清洗刷、棉签等确认CVD设备的电源和气源已经连接好设备处于正常工作状态打开设备在准备工作完成后，可以按照以下步骤打开CVD设备：打开CVD设备的电源开关设备将自动进行自检在设备自检完成后打开设备的前门，将待清洗的腔体取出来清洗腔体在取出来待清洗的腔体后，可以按照以下步骤进行清洗：使用清洗剂将棉签浸湿然后使用棉签擦拭腔体的内部表面使用清洗刷擦拭腔体的外部表面特别是对于难以接触到的部位，如喷嘴、加热带等对于较深的腔体可以使用长杆和棉签进行清洗。将棉签插入腔体内部，然后转动棉签，将内部的污垢擦拭干净检查清洗效果在清洗完成后，可以按照以下步骤检查清洗效果：使用干净的布擦拭腔体的外部表面确保没有任何残留的清洗剂或污垢将腔体放置在干净的工作台上然后使用放大镜或其他检测工具检查腔体的内部表面是否干净对于任何发现的问题可以使用额外的棉签或清洗剂进行清洁关闭设备并做好记录在检查清洗效果并确认腔体已经干净后，可以按照以下步骤关闭CVD设备：将清洗完成的腔体放回CVD设备的腔体座中